?bersicht der Messtechniken
Die nachfolgende Tabelle bietet eine ?bersicht der Messmethoden, die dem ELMICAU zur Verfügung stehen. Angegeben ist ebenfalls die beste erreichbare Aufl?sung der jeweiligen Technik.
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elemental composition |
morphology | surface topology | magnetic structure | chemical map | crystalline structure | special | ||
| 2D | 3D | 2D | 3D | ||||||
| TEM imaging | ? | ? |
<?0.1?nm |
? | ? | ? | ? | ? | strain/stress |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| TEM/STEM diffraction | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | < 1 nm | ? |
| TEM Lorentz mode | ? | ? | ? | ? | ? | < 10 nm | ? | ? | ? |
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HAADF (STEM) |
? | ? | < 0.1 nm | ? | ? | ? | ? | ? | ? |
| EELS (TEM/STEM) | < 0.1 nm | ? | ? | ? | ? | ? | < 0.1 nm | ? | ? |
| EDX (TEM/STEM) | < 0.1 nm | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? |
| HRSTEM imaging | ? | ? | < 0.1 nm | ? | ? | ? | ? | < 0.1 nm | ? |
| DPC (STEM) | ? | ? | ? | ? | ? | < 10 nm | ? | ? |
E-fields:? < 0,1 nm |
| Lorentz-STEM (Cs-corrected) | ? | ? | ? | ? | ? | < 1 nm | ? | ? | ? |
| SE (SEM) | ? | ? | ? | ? | < 5?nm | ? | ? | ? | large-scale images possible |
| BSE (SEM) | < 10 nm | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
| EDX (SEM) | <?50?nm | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | |
| EBSD (SEM) | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | < 20?nm | grain orientation |
| Auger?(AES) | < 5 nm | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? | ? |
| TEM/STEM tomography | ? | <?10?nm | ? | <?10?nm | ? | ? | ? | ? | ? |
| FIB tomography | ? | < 100 nm | ? | < 100 nm | ? | ? | ? | ? | ? |
| Auger tomography | ? | <?5?nm | ? |
<?5?nm |
? | ? | ? | ? | ? |
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????????????? ? Elemental composition: Unterscheidung verschiedener Elemente.
????????????? ? Morphology: der physikalische Aufbau der Probe, also granul?r, einkristallin, amorph, etc.
????????????? ? Surface topology: die Struktur der Probenoberfl?che.
????????????? ? Magnetic structure: magnetische Dom?nen oder Dom?nenw?nde, Spinstrukturen wie Vortices oder Skyrmionen.
????????????? ? Chemical map: Unterscheidung nach Element und chemischem Zustand, z.B. Oxidationszahl.
????????????? ? Crystalline structure: Bravaisgitter und Gitterkonstanten.
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