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Die nachfolgende Tabelle bietet eine ?bersicht der Messmethoden, die dem ELMICAU zur Verfügung stehen. Angegeben ist ebenfalls die beste erreichbare Aufl?sung der jeweiligen Technik.

?

?

elemental

composition

morphology surface topology magnetic structure chemical map crystalline structure special
2D 3D 2D 3D
TEM imaging ? ?

<?0.1?nm

? ? ? ? ? strain/stress
TEM/STEM diffraction ? ? ? ? ? ? ? < 1 nm ?
TEM Lorentz mode ? ? ? ? ? < 10 nm ? ? ?

HAADF

(STEM)

? ? < 0.1 nm ? ? ? ? ? ?
EELS (TEM/STEM) < 0.1 nm ? ? ? ? ? < 0.1 nm ? ?
EDX (TEM/STEM) < 0.1 nm ? ? ? ? ? ? ? ?
HRSTEM imaging ? ? < 0.1 nm ? ? ? ? < 0.1 nm ?
DPC (STEM) ? ? ? ? ? < 10 nm ? ?

E-fields:?

< 0,1 nm

Lorentz-STEM (Cs-corrected) ? ? ? ? ? < 1 nm ? ? ?
SE (SEM) ? ? ? ? < 5?nm ? ? ? large-scale images possible
BSE (SEM) < 10 nm ? ? ? ? ? ? ?
EDX (SEM) <?50?nm ? ? ? ? ? ? ?
EBSD (SEM) ? ? ? ? ? ? ? < 20?nm grain orientation
Auger?(AES) < 5 nm ? ? ? ? ? ? ? ?
TEM/STEM tomography ? <?10?nm ? <?10?nm ? ? ? ? ?
FIB tomography ? < 100 nm ? < 100 nm ? ? ? ? ?
Auger tomography ? <?5?nm ?

<?5?nm

? ? ? ? ?

?

????????????? ? Elemental composition: Unterscheidung verschiedener Elemente.

????????????? ? Morphology: der physikalische Aufbau der Probe, also granul?r, einkristallin, amorph, etc.

????????????? ? Surface topology: die Struktur der Probenoberfl?che.

????????????? ? Magnetic structure: magnetische Dom?nen oder Dom?nenw?nde, Spinstrukturen wie Vortices oder Skyrmionen.

????????????? ? Chemical map: Unterscheidung nach Element und chemischem Zustand, z.B. Oxidationszahl.

????????????? ? Crystalline structure: Bravaisgitter und Gitterkonstanten.

?

Diese Tabelle kann genutzt werden, um eine passende Messtechnik zu einer Fragestellung bezüglich bestimmter Eigenschaften einer Probe zu finden. Allerdings ist sie nicht allumfassend, daher ist eine Konversation mit dem professionellen ELMICAU-Team der beste Weg, die richtige Technik für Ihre Situation zu finden.

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